1、化合物制造：化肥、氨、硝酸等化合物的制造。

2、惰性保護(hù)：惰性保護(hù)介質(zhì)，速凍食品。   

3、制冷劑：低溫粉碎等的制冷劑、冷卻劑。

4、電子工業(yè)：電子工業(yè)中的外延、擴(kuò)散、化學(xué)氣相淀積、離子注入、等離子干刻、光刻等。

5、標(biāo)準(zhǔn)物：用作標(biāo)準(zhǔn)氣、校正氣、零點(diǎn)氣、平衡氣等。